高純氣體(如超高純氮氣、氧氣、氫氣、電子級特氣等)因應用場景(半導體、制藥、精密儀器、實驗室等)對純度要求很 高(通常 99.999% 以上,甚至 ppb 級),其管道設計需嚴格避免污染、泄漏及氣體滯留,同時保障系統穩定與安全。以下是核心設計要點:
閥門與附件:低死角、高兼容
閥門及附件需避免 “死體積”(氣體滯留空間),且材質與管道匹配。
閥門選擇:
優先用隔膜閥(無死角,膜片材質為 PTFE 或全氟醚)或波紋管閥(波紋管密封,避免閥桿處泄漏);
禁止使用閘閥、球閥(閥體內腔有死角,易積雜質);
閥門材質需為 316L EP,與管道同材質,避免電化學腐蝕。
附件要求:
壓力表、流量計等需選 “高純級”,接口采用焊接或無死角法蘭,內部腔體光滑無毛刺;
支架材質需與管道兼容(如 316L 不銹鋼),避免用碳鋼(可能銹蝕污染),支架間距需合理(≤1.5m),防止管道振動導致連接處松動。